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Optimization of a PECVD borophosphosilicate glass process
Schöpfer:
Blanchette, Craig P.
Advisor:
Pavlik, James W.
Herausgeber:
Worcester Polytechnic Institute
Datum erstellt:
1999-01-01
Resource Type:
Major Qualifying Project
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Collections
Major Qualifying Projects
1
Year
1999
1
Schöpfer
Blanchette, Craig P.
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1
Advisor
Pavlik, James W.
1
Major
Chemistry
1
Herausgeber
Worcester Polytechnic Institute
1
Ressourcentyp
Major Qualifying Project
1
