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Development of a modular interferometric microscopy system for characterization of MEMS
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Collections
Masters Theses
1
Year
2007
1
Schöpfer
Klempner, Adam R.
[remove]
1
Advisor
Pryputniewicz, Ryszard J.
1
Contributor
Burnham, Nancy A.
1
Marinis, Thomas F.
1
Pryputniewicz, Ryszard J.
1
Sullivan, John M.
1
Unit (Department)
Mechanical Engineering
1
Herausgeber
Worcester Polytechnic Institute
1
Ressourcentyp
Thesis
1
